钛媒体6月6日消息，据最新消息，华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域，入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司。 企业信息显示，北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化，注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元，增长68%，主要是投资人多了，其中就有华为旗下的哈勃投资，占股4.76%，成为第七大股东。 据悉，科益虹源的控股股东是中科院微电子所，持股26.6%，主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统，是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。